芯片制造过程中最复杂最关键的工艺步骤是光刻(lithography)。光刻是一种将图案转移到芯片表面的技术,是芯片制造过程中最重要的工艺之一。在这个工艺中,液体光敏材料被暴露在UV光线下,然后通过化学...
电离蚀刻是一种先进的微纳加工技术,可以在微米到纳米级别的尺寸上进行高精度的雕刻和刻蚀。它是通过离子束对材料进行电离,产生等离子体,从而在材料表面形成蚀刻槽的一种技术。本文将介绍电离蚀刻的基本原理、优缺...