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高温离子注入机是一种用于高温高压条件下离子注入的设备,可将离子注入到半导体晶体中形成掺杂或扩散。在半导体工业中,高温离子注入机是一种基本的设备,用于制造各种类型的半导体器件,如MEMS器件、Nanot...